POLYGON PHYSICS

53 rue des Martyrs
38026 Grenoble cedex
France
Tel : 04 76 28 40 49

Email : info@polygonphysics.com
Site : http://www.polygonphysics.com



Description

Polygon Physics est spécialiste de solutions personnalisées pour les faisceaux de particules chargées au service du traitement de surface sous vide.
Au cœur de notre savoir-faire (issu du CNRS) : une source ECR plug & play d’ions, d’électrons, d’atomes ou de plasma de la taille d’un pouce qui ne consomme que quelques watts.
En combinant plusieurs sources, il est nous possible de créer les faisceaux de votre choix, de toute taille, du millimètre au mètre, et de toute forme.
Les paramètres de ces faisceaux peuvent être adaptés aux différents traitements de surface tels que :
• le dépôt de couches minces par faisceau ionique (IBS)
• les dépôts de couches minces assistés par un faisceau ionique
• la gravure par faisceau ionique
• le nettoyage
• l’usinage ionique
• l’implantation ionique
• la structuration par pulvérisation.
Parce que les sources n’ont pas de filament (ni autres consommables), la maintenance est faible, les faisceaux sont stables et fiables, et les sources peuvent accepter des gaz réactifs.

Besoin d’un faisceau linéaire, carré, circulaire ou annulaire pour traiter vos pièces ? Traiter l’intérieur de tubes ? Vous préférez plutôt un système de traitement complet ?

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